Thin-film capable ceramics for humidity and temperature sensing applications

Category

Conference:

Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau ; 58 (Ilmenau) : 2014.09.08-12

Publisher:

GND

16003365-2

ilmedia

Published in:

Shaping the Future by Engineering : Proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau,…
Vol. 58, 2014 (17.11.2014), Art. 1.2.8

Volume:

58, 2014

Date Created:

17.11.2014

Date Issued:

17.11.2014

PPN:

803838808

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-047:3

Language:

English

Type of Resource:

Text

Extent:

8 Seiten

Place Term:

Ilmenau

Keywords:

1. thin film

   Typ

   Schlagwort

1. planarization

   Typ

   Schlagwort

1. LTCC

   Typ

   Schlagwort

1. temperature

   Typ

   Schlagwort

1. humidity

   Typ

   Schlagwort

1. sensor

   Typ

   Schlagwort

Classification:

Klasse A

DDC subject of DNB:

620 Engineering & allied operations

Classification:

58. IWK (2014)

Classification:

für Harvesting bereitgestellt

Classification:

Thüringer Pflichtexemplare

Hosting institution:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau