Ziel dieser Arbeit war der Entwurf und die Erforschung eines neuartigen
dreiachsigen Mikrotastsystems, welches in Verbindung mit einer
Nanopositionier- und Nanomessmaschine die Oberflächenvermessung
makroskopischer Bauelemente ermöglicht.Eine zentrale Forderung in der
Koordinatenmesstechnik stellt die…