The sensitivity of micro- and nanoscale resonator beams for sensing applications in ambient conditions was investigated. Micro-electromechanical (MEMS) and nanoelectromechanical systems (NEMS) were realized using silicon carbide (SiC) and polycrystalline aluminium nitride (AlN) as active layers on silicon…
Die Erweiterung des Anwendungsspektrums Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) um das Einsatzgebiet der chemischen, biologischen, gasartspezifischen und mikrofluidischen Sensoren stellt hohe Anforderungen an Stabilität (chemisch und mechanisch), Biokompatibilität, Miniaturisier- und Integrierbarkeit…