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Dissertation
All rights reserved
2016

Halbleiter-Isolator-Halbleiter-Heteroübergang mit Atomlagenabscheidung...

Die vorliegende Arbeit befasste sich grundlegend mit der Herstellung und Untersuchung der Wirkungsweise einer Solarzelle der 3. Generation. Dabei wird eine nasschemisch geätzte Silizium-Nanostruktur zur Steigerung der Absorption genutzt. Statt eines klassischen p-n-Übergangs dient ein mit Atomlagenabscheidung...
Diploma thesis
All rights reserved
2011

Atomlagenabscheidung dünner transparenter leitfähiger Metalloxidschichten...

Die Atomlagenabscheidung (engl. „Atomic Layer Deposition“, ALD) ist ein chemisches Abscheideverfahren zur Herstellung dünner Schichten. Der selbstlimitierende Prozess dieses Verfahrens ermöglicht es, Schichtdicken von einer Monolage (~0,1 nm) bis zu mehreren Mikrometern zu erzielen. Das ALD-Verfahren...