Silicon Grass is a nano-scale surface modification formed by self-organizing processes in plasma etching. It can be used to enable new functionalities or enhance the performance of MEMS, Biological MEMS or MOEMS. Its low-cost generation with standard fabrication equipment makes it a promising research…
In mikro-opto-fluidischen Anwendungen werden Anforderungen an die Optik gestellt, die spezifische Systemdesigns notwendig machen. Es werden zwei Verfahren zu optischen Mikromanipulation an einem realen Fluidiksystem demonstriert, mit denen Wechselwirkung über weite Distanzen erreicht werden kann.