In this contribution, we propose a diode laser stabilized to an ultrastable cavity (ORS) as a metrology laser for interferometry in nanopositioning and measuring machines (NPMM) with measurement ranges up to 1 m. Based on a time-dependent linewidth analysis of frequency-stabilized He-Ne-lasers traditionally…
Dieser Beitrag beschäftigt sich mit der Analyse der Positioniergenauigkeit einer neuen Nano-Fabrikationsmaschine. Diese Maschine verwendet ein planares Direktantriebssystem und hat einen Positionierbereich von 100 mm im Durchmesser. Die Positioniergenauigkeit wurde in verschiedenen Bewegungsszenarien…
Optical based non-contact measurement techniques are of great importance in semiconductor device characterization. THz emission from optically excited semiconductor interfaces permits the investigation of transport mechanisms and potential barriers at semiconductor interfaces. So far most available studies…