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Aluminiumnitrid-Membranen für durchstimmbare refraktive Mikrooptiken

Während der Miniaturisierung optischer Systeme entstehen zwei zentrale Herausforderungen. Erstens sinkt der Informationsgehalt der Abbildung durch optische Mikrosysteme in Abhängigkeit von deren Größe. Zweitens muss während der Miniaturisierung optischer Systeme ihre Anpassungsfähigkeit erhalten bleiben.…