Maskenlose holographische Lithographiesysteme nutzen die Möglichkeiten der gezielten Lichtformung in Phase und Amplitude durch Holographie, die für die Projektion zwei- und dreidimensionaler Muster genutzt werden kann. Das Ziel ist die strukturierte Belichtung von Fotoresist, wodurch das Einbringen von…
The field of optical lithography is subject to intense research and has gained enormous improvement. However, the effort necessary for creating structures at the size of 20 nm and below is considerable using conventional technologies. This effort and the resulting financial requirements can only be tackled…
Die Wechselwirkung zwischen Tektonik und Oberflächenprozesse wird mit Hilfe numerischer Modellierungen am Beispiel des Variszischen Vorlandbeckens untersucht. Die Entstehung komplexer geologischer Strukturen West- und Mitteleuropas kann dabei ebenso wie manigfaltige geodynamische Prozesse mit einem elasto-plastischem…