Die physikalisch-optischen Randbedingungen beim Einsatz von Beugungsgittern im Wellenlängen-Bereich um 13,5nm bedingen einen großen Einfallswinkel. Die gebeugte Strahlung hinter einem solchen Grazing-Incidence-Gitter wird dabei an einer wesentlich größeren Fläche umgelenkt, als dies bei üblichen Anwendungen…