Die physikalisch-optischen Randbedingungen beim Einsatz von Beugungsgittern im Wellenlängen-Bereich um 13,5nm bedingen einen großen Einfallswinkel. Die gebeugte Strahlung hinter einem solchen Grazing-Incidence-Gitter wird dabei an einer wesentlich größeren Fläche umgelenkt, als dies bei üblichen Anwendungen…
Die Interferenzlithografie stellt hohe Anforderungen an die Stabilität der Phasenlage der interferierenden Wellen. Eine Modifikation der räumlichen Intensitätsverteilung erscheint bei Berücksichtigung dieser Randbedingung als schwierig. Dennoch können wir zeigen, dass eine technologisch recht einfache…
Blazed gratings are in general the best choice for achieving the maximal diffraction efficiencies in a moderate wide wavelength band. However, a number of applications such as typical spectrometer systems need a broader spectral range. Here the drop of diffraction efficiency for the employed order towards…
Interferenzlitographisch hergestellte holographisch-optische Bauelemente (HOEs) stellen eine leistungsfähige Alternative zu beugungsoptischen Bauelementen dar, die mit klassischen lithographischen Verfahren hergestellt werden. Eine generelle Problemstellung ist dabei die Anpassung der beugenden Strukturen…