Die BioMEMS(Biological Micro-Electro-Mechanical Systems)-Technologie spielt vor
allem für Biosensoren eine entscheidende Rolle im Prozess der
Informationsbeschaffung für die technologisch fortschreitende Entwicklung unserer
Zivilisation. „Oberflächenspannungsbasierte Biosensoren“ sind eine relativ…
Auch knapp 30 Jahre nach der Entdeckung des Quanten-Hall-Effektes existiert
noch kein mikroskopischgeschlossenes Bild zu dessen Beschreibung. Die
lokalen elektrischen Eigenschaftenin zweidimensionalen Elektronensystemen
(2DES) sind dabei aktuell von besonderem Interesse.Im Rahmen von lokalen
elektrischen…
In den vergangenen Jahren wurden von Mikroheizern für die Gassensorik, aber auch für thermische Infrarotquellen zunehmend höhere Betriebstemperaturen gefordert. Bei Temperaturen von über 600°C stoßen die bisher verwendeten Heizermaterialien jedoch an ihre Leistungsgrenzen.
Ziel dieser Doktorarbeit war…
Die Detektion und Überwachung von Umweltparametern wie z.B. Schwermetallen gewinnt in der heutigen Zeit zunehmend an Bedeutung. Eine Möglichkeit zur Messung von Schwermetallen bieten ionenselektive Elektroden auf der Basis von Chalkogenidgläsern. Allerdings ist die Herstellung dieser Materialien zeit-…
In der Arbeit werden die grundlegenden theoretischen Beziehungen und
Berechnungsmethoden für die Lösungen von photonischen Kristallen,
photonischen Lichtwellenleitern und Luftwellenleitern aufgezeigt. Daraus
resultieren die Berechnungen für reale Kapillarwellenleiter mit Taschen,
wie sie durch einen…
A multi-sensor system is a chemical sensor system which quantitatively andqualitatively records gases with a combination of cross-sensitive gas sensor arrays andpattern recognition software. This paper addresses the issue of data analysis foridentification of gases in a gas sensor array. We introduce…
Neue Anwendungsgebiete für die Mikrosystemtechnik werden insbesondere durch neuartige Dünnschichttechnologien erschlossen. Von besonderem technischem Interesse ist die Fluorocarbon-Plasmapolymerisation, da deren Polymere günstige und ganz spezifische Eigenschaften für neue Applikationen in der Mikrosystemtechnik…
Abstract
Solzbacher, Florian
A new SiC/HfB2 based modular concept of micro hotplates for metal oxide
gassensors
Im Rahmen dieser Arbeit wurde ein neuer SiC/HfB2-basierter Mikroheizer mit
niedrigster Leistungsaufnahme für die Anwendung in Metalloxid-Gassensoren
entwickelt und demonstriert. Erstmals…