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Article / ChapterAll rights reservedWed May 4 2011

Vertical nanopositioning of heavy mirrors

Hackel, Tobias ^GND / Frank, Thomas ^GND / Lotz, Markus ^GND

aus: Prospects in mechanical engineering : proceedings ; 53. IWK, Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 8 - 12 September…

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Article / ChapterAll rights reservedFri Nov 26 2010

Aktorintegrierte feinwerktechnische Funktionselemente

Hackel, Tobias ^GND / Frank, Thomas ^GND / Lotz, Markus ^GND / et.al.

aus: Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings

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Article / ChapterAll rights reservedFri Oct 22 2010

Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung

Frank, Thomas ^GND / Lotz, Markus ^GND / Hackel, Tobias ^GND / et.al.

aus: Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings

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Article / ChapterAll rights reservedFri Oct 22 2010

Positionierung im Sub-Micrometerbereich durch Einleitung mechanischer Impulse

Cermann, Christian / Frank, Thomas ^GND / Theska, René

aus: Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings

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Article / ChapterAll rights reservedThu Oct 21 2010

Konstruktionsprinzipien zum Entwurf von Nanopositioniermaschinen

Lotz, Markus ^GND / Frank, Thomas ^GND / Hackel, Tobias ^GND / et.al.

aus: Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings