Maskless holographic lithography systems use the possibilities of light shaping in phase and amplitude enabled by holographic projection for the projection of two and three dimensional patterns. The aim is the structured illumination of photoresist, allowing the structuring of the resist. The computer…
The field of optical lithography is subject to intense research and has gained enormous improvement. However, the effort necessary for creating structures at the size of 20 nm and below is considerable using conventional technologies. This effort and the resulting financial requirements can only be tackled…
Die Wechselwirkung zwischen Tektonik und Oberflächenprozesse wird mit Hilfe numerischer Modellierungen am Beispiel des Variszischen Vorlandbeckens untersucht. Die Entstehung komplexer geologischer Strukturen West- und Mitteleuropas kann dabei ebenso wie manigfaltige geodynamische Prozesse mit einem elasto-plastischem…