Um gestiegenen Anforderungen an das Messvolumen von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Rechnung zu tragen, wurde ein neues inverses Konzept entwickelt. Für die hochpräzise Positionierung des Sensorkopfs im Messraum werden dabei vier interferometrische Messachsen für jede Raumrichtung benötigt. Es wird ein Heterodyn-Laserinterferometer für diese Aufgabe vorgestellt sowie Messergebnisse präsentiert.