Exploring nanowire regrowth for the integration of bottom-up grown silicon nanowires into AFM scanning probes

Einordnung

Erschienen in:

Journal of micromechanics and microengineering
Bd. 31, 2021, H. 5 (13.04.2021)Art.-Nr.:055010

Band:

31, 2021

Heft:

5

Datum der Erstellung:

31.01.2022

Datum der Veröffentlichung:

13.04.2021

DOI:

10.1088/1361-6439/abf332

PPN:

1755597622

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

11 Seiten

Schlagwörter:

nanowire; silicon; AFM; soft probe; microfabrication; nanowire alignment

DDC-Sachgruppe der DNB:

530 Physik

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau