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Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung

Cao, Xinrui; Feßer, Patrick; Fischer, David; Hofmann, Meike GND; Bourgin, Yannick; Sinzinger, Stefan GND

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Conference:
DGaO-Jahrestagung ; 119 (Aalen) : 2018.05.22-26
Published in:
DGaO-Proceedings
Vol. 119, 2018 (04.07.2018), art. P44
Volume:
119, 2018
Date Created:
05.09.2019
Date Issued:
04.07.2018
PPN:
1672447682
URN:
urn:nbn:de:0287-2018-P044-6
Language:
German
Type of Resource:
Text
Extent:
1 Seite
DDC subject of DNB:
530 Physics
Hosting institution:
Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau

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Citation style:
Cao, X., Feßer, P., Fischer, D., Hofmann, M., Bourgin, Y., Sinzinger, S., DGaO-Jahrestagung, (Aalen), ., 2018. Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung. DGaO-Proceedings, DGaO-Proceedings 119, 2018, art,P44.
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