Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung

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Cao, X., Feßer, P., Fischer, D., Hofmann, M., Bourgin, Y., Sinzinger, S., DGaO-Jahrestagung, (Aalen), ., 2018. Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung. DGaO-Proceedings, DGaO-Proceedings 119, 2018, art,P44.
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