Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung

Einordnung

Konferenz:

DGaO-Jahrestagung ; 119 (Aalen) : 2018.05.22-26

Erschienen in:

DGaO-Proceedings
Bd. 119, 2018 (04.07.2018), art. P44

Band:

119, 2018

Datum der Erstellung:

05.09.2019

Datum der Veröffentlichung:

04.07.2018

PPN:

1672447682

URN:

urn:nbn:de:0287-2018-P044-6

Sprache:

Deutsch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

1 Seite

DDC-Sachgruppe der DNB:

530 Physik

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau