Maskenlose Lithographie für die dreidimensionale Mikrostrukturierung

Category

Conference:

DGaO-Jahrestagung ; 119 (Aalen) : 2018.05.22-26

Published in:

DGaO-Proceedings
Vol. 119, 2018 (10.08.2018), art. B12

Volume:

119, 2018

Date Created:

05.09.2019

Date Issued:

10.08.2018

PPN:

1672442117

URN:

urn:nbn:de:0287-2018-B012-1

Language:

German

Type of Resource:

Text

Extent:

2 Seiten

DDC subject of DNB:

530 Physics

Hosting institution:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau