Unsicherheitsbeiträge der Krafteinleitung bei der Kalibrierung der Federkonstanten von AFM Cantilevern

Dannberg, Oliver; Kühnel, Michael GND; Fröhlich, Thomas GND

Bei der Kalibrierung der Federsteifigkeit von AFM Cantilevern liefert deren Fehlausrichtung bezüglich des Kalibriersystems einen signifikanten Beitrag zur Messunsicherheit. In dieser Veröffentlichung werden diese Messunsicherheitsbeiträge auf Basis von analytischen und numerischen Modellen beschrieben sowie mit geeigneten Messungen überprüft. Das Ziel ist die Reduzierung der Messunsicherheit der Federsteifigkeit.

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Dannberg, Oliver / Kühnel, Michael / Fröhlich, Thomas: Unsicherheitsbeiträge der Krafteinleitung bei der Kalibrierung der Federkonstanten von AFM Cantilevern. Ilmenau 2017.

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