Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM-Cantilevern mit Kompensationswaagen

Brand, Uwe; Popadic, Radovan; Li, Zhi; Gao, Sai

Der Beitrag beschreibt die Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM Cantilevern mit der Messeinrichtung der PTB sowie eine Vergleichsmessung mit einer von der TU Ilmenau verbesserten Messeinrichtung, bei der die Auslenkungsmessung der Cantilever laserinterferometrisch erfolgt. Die erzielten Messunsicherheiten werden diskutiert.

Cite

Citation style:
Brand, U., Popadic, R., Li, Z., Gao, S., 2017. Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM-Cantilevern mit Kompensationswaagen, in: Engineering for a Changing World: Proceedings; 59th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, September 11-15, 2017. Ilmenau.
Could not load citation form. Default citation form is displayed.

Rights

License Holder: ©2017 - TU Ilmenau

Use and reproduction:
All rights reserved

Export