Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM-Cantilevern mit Kompensationswaagen

Brand, Uwe; Popadic, Radovan; Li, Zhi; Gao, Sai

Der Beitrag beschreibt die Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM Cantilevern mit der Messeinrichtung der PTB sowie eine Vergleichsmessung mit einer von der TU Ilmenau verbesserten Messeinrichtung, bei der die Auslenkungsmessung der Cantilever laserinterferometrisch erfolgt. Die erzielten Messunsicherheiten werden diskutiert.

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Brand, Uwe / Popadic, Radovan / Li, Zhi / et al: Kalibrierung der Biegesteifigkeit von AFM-Cantilevern mit Kompensationswaagen. Ilmenau 2017.

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