000K utf8 1100 2013$c2013-11-27 1500 ger 2050 urn:nbn:de:gbv:ilm1-mhba-8715 4000 Modulhandbuch Master Mikro- und Nanotechnologien$dPrüfungsordnungsversion: 2008 [Rektor der Technischen Universität Ilmenau] 4020 Studiensemester 2013/14 4060 98 Seiten 4950 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-mhba-8715$xR$3Volltext$534 4961 https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00031807 5051 370