Streulichtarme holografische Blaze-Gitter für den EUV-Bereich

Burkhardt, Matthias; Fechner, Renate; Flamm, Dieter; Frost, Frank; Nickel, Andreas; Gatto, Alexandre; Laubis, Christian; Scholze, Frank; Sinzinger, Stefan GND; Soltwisch, Victor

Die physikalisch-optischen Randbedingungen beim Einsatz von Beugungsgittern im Wellenlängen-Bereich um 13,5nm bedingen einen großen Einfallswinkel. Die gebeugte Strahlung hinter einem solchen Grazing-Incidence-Gitter wird dabei an einer wesentlich größeren Fläche umgelenkt, als dies bei üblichen Anwendungen in einem Wellenlängenbereich der Fall wäre, in dem sich Schichtmaterialien mit hohem Reflexionsgrad verwenden ließen. Deshalb wirken sich Abweichungen von der Ebenheit bzw. Sollform des Gittersubstrats wesentlich stärker aus. Durch das sehr große Verhältnis von Gitterperiode zu Wellenlänge ist die Form der Blaze-Facetten der dominierend effizienzbestimmende Faktor. Sehr ungünstig sind in diesem Zusammenhang schlecht definierte Blaze-Facetten sowie auch Oberflächendefekte und Rauigkeit. Wir zeigen, dass die Herstellung dieser anspruchsvollen Gitter basierend auf einem holografischen Mastering in Photoresist in Kombination mit einem RIBE-Transfer-Prozess zu geeigneten Blaze-Strukturen führt. Projekt-Partner: Zeiss: Holografie; IOM: Reaktives Ionenstrahlätzen; PTB: Messungen bei Arbeitswellenlänge unter Nutzung von Synchrotron-Strahlung am Speicherring BESSY; TUI: wissenschaftliche Grundlagen zur Holografie

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Burkhardt, Matthias / Fechner, Renate / Flamm, Dieter / et al: Streulichtarme holografische Blaze-Gitter für den EUV-Bereich. 2014.

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