Parallelisierte chromatisch-konfokale Mikroskopie mit einem Mehrkanalspektrometer

Weiß, Robert; Hillenbrand, Matthias GND; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan GND

Die konfokale Mikroskopie ist ein weit verbreitetes Verfahren der industriellen Messtechnik. Wir präsentieren ein chromatisch-konfokales Messsystem, das sich eines Farblängsfehlers zur parallelen Erfassung der Tiefeninformationen an mehreren lateralen Messpunkten bedient. Die Auswertung der Messdaten erfolgt mit einem Mehrkanalspektrometer.

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Weiß, Robert / Hillenbrand, Matthias / Grewe, Adrian / et al: Parallelisierte chromatisch-konfokale Mikroskopie mit einem Mehrkanalspektrometer. 2014.

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