Picometer resolution heterodyne interferometry for short to medium term dimensional stability measurments

Zitieren

Zitierform:

Nes, Arthur S. van de / Voigt, Dirk: Picometer resolution heterodyne interferometry for short to medium term dimensional stability measurments. Ilmenau 2014.

Zugriffsstatistik

Gesamt:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:
12 Monate:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:

Grafik öffnen

Rechte

Nutzung und Vervielfältigung:
Alle Rechte vorbehalten

Export