Investigation on process induced nano scale shape deviations of DUV tungsten wire grid polarizer

Zitieren

Zitierform:

Siefke, Thomas / Voigt, Daniel / Puffky, Oliver / et al: Investigation on process induced nano scale shape deviations of DUV tungsten wire grid polarizer. Ilmenau 2014.

Zugriffsstatistik

Gesamt:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:
12 Monate:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:

Grafik öffnen

Rechte

Nutzung und Vervielfältigung:
Alle Rechte vorbehalten

Export