Investigation on process induced nano scale shape deviations of DUV tungsten wire grid polarizer

Einordnung

Konferenz:

Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau ; 58 (Ilmenau) : 2014.09.08-12

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Shaping the Future by Engineering : Proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau,…
Bd. 58, 2014 (12.11.2014), Art. 1.3.5

Band:

58, 2014

Datum der Erstellung:

12.11.2014

Datum der Veröffentlichung:

12.11.2014

PPN:

802893597

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-083:2

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

8 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Schlagwörter:

Wire grid polarizer; DUV; shape deviations; rigorous coupled wave analysis

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

58. IWK (2014)

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

Klassifikation:

Thüringer Pflichtexemplare

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau