Application of the metrological SPM for long distance measurements

Category

Conference:

Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau ; 58 (Ilmenau) : 2014.09.08-12

Publisher:

GND

16003365-2

ilmedia

Published in:

Shaping the Future by Engineering : Proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau,…
Vol. 58, 2014 (04.11.2014), Art. 1.1.3

Volume:

58, 2014

Date Created:

04.11.2014

Date Issued:

04.11.2014

PPN:

799922153

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-158:6

Language:

English

Type of Resource:

Text

Extent:

5 Seiten

Place Term:

Ilmenau

Keywords:

1. nanopositioning and nanomeasuring machine

   Typ

   Schlagwort

1. metrological scanning probe microscope

   Typ

   Schlagwort

1. SPM

   Typ

   Schlagwort

1. AFM

   Typ

   Schlagwort

1. long distance measurements

   Typ

   Schlagwort

Classification:

Klasse A

Classification:

58. IWK (2014)

DDC subject of DNB:

620 Engineering & allied operations

Classification:

für Harvesting bereitgestellt

Classification:

Thüringer Pflichtexemplare

Hosting institution:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau