Microscope objectives for semiconductor metrology: technology driver for the mounting technology of optical high performance systems with small diameters

Einordnung

Konferenz:

Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering ; 53 (Ilmenau) : 2008.09.08-12

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Prospects in mechanical engineering : proceedings ; 53. IWK, Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 8 - 12 September…
Bd. 53, 2008 (02.05.2011), Session 5.1

Band:

53, 2008

Datum der Erstellung:

02.05.2011

Datum der Veröffentlichung:

02.05.2011

PPN:

667735011

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

7 Seiten

Klassifikation:

53. IWK (2008)

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau