000K utf8 0100 666294259 1100 2011$c2011-02-22 1500 eng 3000 Noell, Wilfried 3010 Rooij, Nico de 4000 MEMS-based photonics [Noell, Wilfried] 4060 4 Seiten 4961 http://uri.gbv.de/document/gvk:ppn:666294259 5051 620