PT Unknown
AU Tonisch Dr.-Ing., K
   Cimalla PD Dr.-Ing. habil., V
   Förster, C
   Dontsov Dr.-Ing., D
   Ambacher Univ.-Prof. Dr. rer. nat. habil., O
AU Internationales Wissenschaftliches Kolloquium (IWK). Technische Universität Ilmenau ; 50 (Ilmenau) : 2005.09.19-23
TI Estimation of the piezoelectric properties of thin AlN layers for MEMS applications
SE Maschinenbau von Makro bis Nano: 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings
PD December
PY 2010
BP [04.07]
VL 50, 2005
WP https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00017305
LA en
SN 3-932633-99-7
AB Übersicht der Tagungsbeiträge
PI Ilmenau
ER