Subnanometergenaue Messungen der Formabweichungen ausgedehnter, gering gekrümmter optischer Flächen für die Finish-Bearbeitung bis zu Genauigkeiten von < [lambda]/1000

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Lammert, Heiner / Siewert, Frank / Zeschke, Thomas: Subnanometergenaue Messungen der Formabweichungen ausgedehnter, gering gekrümmter optischer Flächen für die Finish-Bearbeitung bis zu Genauigkeiten von < [lambda]/1000. Ilmenau 2010.

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