Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung

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Frank Dr. rer. nat., T., Lotz Dr.-Ing., M., Hackel Dipl.-Ing., T., Theska Univ.-Prof. Dr.-Ing., R., habil., H.Prof.Dr.-Ing., 2010. Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung. Maschinenbau von Makro bis Nano: 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings, Maschinenbau von Makro bis Nano: 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings 50, 2005, 1.
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