Untersuchung der Dynamik einer hochgenauen x-y- Verfahreinheit für eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine anhand eines Konstruktionsentwurfes

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Tröbs, Anita / Gerlach, Erik / Zimmermann, Klaus: Untersuchung der Dynamik einer hochgenauen x-y- Verfahreinheit für eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine anhand eines Konstruktionsentwurfes. 2010.

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