XML-basierter Befehlssatz für NPM-Maschinen

Frank, Sebastian GND; Weiß, Mathias GND; Braunschweig, Marion

Die zunehmende Miniaturisierung sowohl elektronischer als auch mechanischer Systeme erfordert Werkzeuge, die den Zugang zum Nanometer-Bereich eröffnen. Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPM-Maschinen) sind Maschinen, die Messungen und Manipulationen an Objekten dieser Größenordnung ermöglichen. Entsprechend der großen Zahl unterschiedlicher Einsatzgebiete von NPM-Maschinen existieren auch unterschiedlichste Anforderungen ihrer Nutzer hinsichtlich der Bedienung. Je nach Einsatzzweck werden ganz andere Bedingungen gestellt oder ganz andere Funktionen verlangt. Die Steuerung von NPM-Maschinen muss daher flexibel bzw. modular gestaltet sein, um den jeweiligen Bedürfnissen angepasst werden zu können. Der vorliegende Artikel soll den Stand der Arbeiten an einem modularen Steuerungskonzept für NPM-Maschinen aufzeigen.

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Frank, Sebastian / Weiß, Mathias / Braunschweig, Marion: XML-basierter Befehlssatz für NPM-Maschinen. 2010.

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