Ultrapräzisionsgefertigte Freiformflächen für Anwendungen in planar integrierten optischen Systemen

Stoebenau, Sebastian; Amberg, Martin; Sinzinger, Stefan GND

Aus der in das Substrat gefalteten optischen Achse planar integrierter freiraum-optischer Systeme resultiert die Notwendigkeit, asphärische Formflächen vorzusehen, um Wellenfrontaberrationen zu vermeiden. Entsprechende Korrekturelemente wurden mittels ZEMAX® entworfen, unter Anwendung des Ultrapräzi-sionsfräsens gefertigt und anschließend im Experiment erfolgreich getestet.

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Stoebenau, Sebastian / Amberg, Martin / Sinzinger, Stefan: Ultrapräzisionsgefertigte Freiformflächen für Anwendungen in planar integrierten optischen Systemen. 2009.

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