Ultrapräzisionsgefertigte Freiformflächen für Anwendungen in planar integrierten optischen Systemen

Stoebenau, Sebastian; Amberg, Martin; Sinzinger, Stefan GND

Aus der in das Substrat gefalteten optischen Achse planar integrierter freiraum-optischer Systeme resultiert die Notwendigkeit, asphärische Formflächen vorzusehen, um Wellenfrontaberrationen zu vermeiden. Entsprechende Korrekturelemente wurden mittels ZEMAX® entworfen, unter Anwendung des Ultrapräzi-sionsfräsens gefertigt und anschließend im Experiment erfolgreich getestet.

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Stoebenau, S., Amberg, M., Sinzinger Prof. Dr. rer. nat. habil., S., DGaO-Jahrestagung, (Esslingen), ., 2009. Ultrapräzisionsgefertigte Freiformflächen für Anwendungen in planar integrierten optischen Systemen. DGaO-Proceedings, DGaO-Proceedings 109, 2008, B25.
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