Beiträge zur Verringerung der Positionierunsicherheit in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine

Category

Thesis advisor:

Jäger, Gerd

Reviewer:

Weckenmann, Albert; Schmitt, Robert

Date Created:

13.11.2008

Date accepted:

22.09.2008

Date Issued:

13.11.2008

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2008000187

PPN:

596073194

Language:

German

Keywords:

1. Nanopositioniermaschine

   Typ

   Schlagwort

1. Nanomessmaschine

   Typ

   Schlagwort

1. abbefehlerfrei

   Typ

   Schlagwort

1. Positionierunsicherheit

   Typ

   Schlagwort

1. Messunsicherheit

   Typ

   Schlagwort

1. Planspiegelinterferometer

   Typ

   Schlagwort

1. Winkelsensoren

   Typ

   Schlagwort

1. Spiegelecke

   Typ

   Schlagwort

1. Gewichtskraftkompensation

   Typ

   Schlagwort

1. Klimatisierung

   Typ

   Schlagwort

Classification:

Klasse A

Classification:

für Harvesting bereitgestellt

DDC subject of DNB:

620 Engineering & allied operations

Hosting institution:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau