Particle emission from extreme ultraviolet light sources

Brauner, Thomas GND

In dieser Arbeit wurde die Teilchenemission (Debris) plasmabasierter Quellen für extrem ultraviolettes Licht (EUV) charakterisiert und die Auswirkungen auf die Lebensdauer von EUV-Kollektoroptiken diskutiert. Für laserangeregte Plasmen wurde Erosion der Kollektorspiegel als dominanter Schädigungseffekt identifiziert. Weiterhin wurde ein Konzept zur Debrisunterdrückung auf Grundlage eines Puffergases implementiert und seine Wirksamkeit demonstriert. Für Plasmen aus Gasentladungen wurde das Ionenspektrum vermessen und daraus Wirkungsquerschnitte für Wechselwirkungen von Debristeilchen mit Puffergasatomen abgeleitet.

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Brauner Dr., T., 2007. Particle emission from extreme ultraviolet light sources. Jena.
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