Measuring large areas by white light interferometry at the nanopositioning and nanomeasuring machine (NPMM)

Kapusi, Daniel; Machleidt, Torsten; Franke, Karl-Heinz GND; Manske, Eberhard GND; Jahn, Rainer

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=8785Zum Vol. I von: Computer science meets automation: 52. IWK, Internationales Wissenschaftliches Kolloquium ; proceedings ; 10 - 13 September 2007

http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=8786Zum Vol. II von: Computer science meets automation: 52. IWK, Internationales Wissenschaftliches Kolloquium ; proceedings ; 10 - 13 September 2007

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Kapusi, Daniel / Machleidt, Torsten / Franke, Karl-Heinz / et al: Measuring large areas by white light interferometry at the nanopositioning and nanomeasuring machine (NPMM). 2007.

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