000K  utf8
1100  2007$c2007-01-22
1500  eng
3110  Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien <Ilmenau>
4000  Annual Report / Center for Micro- and Nanotechnologies (ZMN)$hZentrum für Mikro- und Nanotechnologien <Ilmenau>  [Rektor der TU Ilmenau]
4000  Jahresbericht / Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN)$hZentrum für Mikro- und Nanotechnologien <Ilmenau>  [Rektor der TU Ilmenau]
4200  Biannual Report / Center for Micro- and Nanotechnologies (ZMN)
4961  https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00007353
5051  620