Moore’s law und die Auswirkungen auf Lithografie

Birner, Henry

Unsere Rechner werden immer schneller, die zu verarbeitenden Datenmengen immer umfangreicher. Aber die Erhöhung der Leistungsfähigkeit der Schaltkreise in PC und Steuereinheiten verlangt die kontinuierliche Weiterentwicklung der Technologien für die Herstellung elektronischer Bauelemente. Wie gelingt es, immer kleinere Strukturen in Silizium zu übertragen? Welche Rolle spielt dabei die Optik? Kann man die Naturgesetze tatsächlich austricksen? Der Vortrag zeigt die Weiterentwicklung der Technologie in der Vergangenheit und gibt einen Ausblick auf die Trends in der Zukunft.

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Birner, Henry: Moore’s law und die Auswirkungen auf Lithografie. Jena 2006.

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