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Artikel / Aufsatz Fr., 05. Jan.. 2007

Veröffentlicht

A novel approach to positioning- and measuring technique for nanometrology

Jäger, Gerd ; Manske, Eberhard ; Hausotte, Tino ; Büchner, Hans-Joachim; Grünwald, Rainer

Vorschau

Einordnung

Original:
Datum der Erstellung:: 05.01.2007
Datum der Veröffentlichung:: 05.01.2007
PPN:: 521964261
Sprache:: Englisch
Klassifikation:: für Harvesting bereitgestellt
Klassifikation:: Klasse A
DDC-Sachgruppe der DNB:: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Einrichtung:: Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau

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