Einfluss hochtexturierter Seedlayer auf die Eigenschaften von dünnen Fe-Co-Schichten

Löbel, Robert

Die Grundlagen der Modifikation der weichmagnetischen Eigenschaften für dünne Fe-Co-Schichten mit Hilfe von hochtexturierten Seedlayern wurden untersucht. Als Substrat für die dünnen Schichten dienten Silizium (100) Wafer, auf denen Kupfer und/oder Palladium als Seedlayer und anschließend Fe-Co mittels Kathodenzerstäuben (Sputtern) abgeschieden wurden. Epitaktisches Wachstum der Schichten auf dem mit Flusssäure geätztem Si-Substrat bewirkt eine hohe Texturierung des Schichtsystems in (100). Für die hochtexturierten Fe-Co-Schichten wurde ein dominierender Beitrag der magnetokristallinen Anisotropie zur magnetischen Anisotropie nachgewiesen. Möglichkeiten zur Reduzierung der magnetokristallinen Anisotropie zur weiteren Optimierung der weichmagnetischen Eigenschaften mit Hilfe der Methoden der kombinatorischen Materialentwicklung werden aufgezeigt.

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Löbel, Robert: Einfluss hochtexturierter Seedlayer auf die Eigenschaften von dünnen Fe-Co-Schichten. 2006.

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