Herstellung und Untersuchung dünner Isolatorschichten für supraleitende Bauelemente

Bechstein, Ralf

Zur Isolierung und Passivierung von hochtemperatur-supraleitenden Keramiken werden dünne Schichten amorpher Isolatoren eingesetzt. Ich habe Gold-Siliziumdioxid-Gold und Gold-Ceroxid-Gold Schichtsysteme mit Sputtertechniken auf Strontiumtitanat abgeschieden und zu Kondensatoren strukturiert. Daran habe ich feldabhängige Leckstrommessungen und temperaturabhängige Kapazitäts-messungen durchgeführt. Ich diskutiere Leitungsmechanismen in den Isolatoren, die ermittelten Dielektrizitätskonstanten und den Einfluß des Substrates auf die Messungen.

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Bechstein, Ralf: Herstellung und Untersuchung dünner Isolatorschichten für supraleitende Bauelemente. 2006.

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