Röntgendiffraktometrische Charakterisierung von Germanium-Nanokristalliten auf und in Siliziumkarbid

Wunderlich, Bettina GND

In der vorliegenden Arbeit wunden aufgewachsene und in ca. 100nm Tiefe von vergrabene Germanium-Nanokristallite charakterisiert, die mittels Molekular-Strahl-Epitaxie und Ionen-Implantation mit anschließender Temperaturbehandlung erzeugt wurden. Die Messungen wurden an einem Synchrotron der dritten Generation, der ESRF in Grenoble, mit coplanarer Röntgendiffraktomerie durchgeführt. Es wurde die gemittelte Nanokristallit-Größe und die Orientierung in normale und laterale Richtung bestimmt. Der Germanium-Gehalt in den Nanokristalliten wurde unter Ausnutzung der anomalen Dispersion von Germanium bestimmt. Die vergrabenen Nanokristallite sind zeitlich nicht stabil, eine Größenzunahme in alle Richtungen ist wahrscheinlich.

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Wunderlich, Bettina: Röntgendiffraktometrische Charakterisierung von Germanium-Nanokristalliten auf und in Siliziumkarbid. 2004.

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