Estimation of the piezoelectric properties of thin AlN layers for MEMS applications

Einordnung

Konferenz:

Internationales Wissenschaftliches Kolloquium (IWK). Technische Universität Ilmenau ; 50 (Ilmenau) : 2005.09.19-23

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings
Bd. 50, 2005 (20.12.2010), [04.07]

Band:

50, 2005

Datum der Erstellung:

20.12.2010

Datum der Veröffentlichung:

20.12.2010

PPN:

824458400

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

6 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

50. IWK (2005)

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau